FOUP 清潔系統

300mm晶圓已經成為半導體開發和製造的行業標準。 高級產品需要出色的 FOUP 清潔，尤其是隨著 EUV 光刻技術的引入。

我們提供具有卓越性能、吞吐量和可靠性的 FOUP 清潔系統。 新系統的改進包括更高的吞吐量、節能和更小的佔地面積。 它還符合 SEMI 標準、GEM300、CE 標誌和 UL。